臭氧为混合气体其浓度通常按质量比和体积比来表示。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L或g/m3等表示。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。臭氧浓度是衡量臭氧发生器技术含量和性能的重要指标。同等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品质度就越高。
高纯臭氧发生器是实验室和半导体工艺的“强氧化心脏”。它通过高压电离高纯氧气，产生高浓度、低杂质(无NOx)的臭氧(O₃)，专门用于对金属离子和副产物有高要求的精密氧化反应。
高纯臭氧发生器的使用注意事项：
气源要求高：必须使用纯度在99.99%及以上的高纯氧气作为原料气，否则会严重影响臭氧浓度并污染放电腔。
严格的水分控制：原料氧气必须经过严格干燥，水分会导致放电效率下降并产生腐蚀性副产物，缩短设备寿命。
尾气处理：未参与反应的臭氧具有强氧化性和毒性，必须连接专用的臭氧尾气破坏器(分解器)，将其还原为氧气后再排放。
定期校准：内置的臭氧浓度分析仪需要定期使用标准方法进行校准，以确保工艺参数的准确性和可重复性。
